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磁控溅射镀膜机膜厚控制系统

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【作者】 王玉琦； 王小曼；

【机构】 吉林电力职工大学； 长春光机学院 (130042)；

【摘要】 介绍磁控溅射镀膜膜厚控制系统的组成,电路工作原理、硬软件设计技巧。

【关键词】 磁控溅射； 镀膜； 膜层厚度； 靶位；
  • 【文献出处】 电子技术应用 ,Application of Electronic Technique , 编辑部邮箱 ,1993年11期
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