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硅材料的目前状况及发展趋势——1992年6月赴美考察情况报告

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【摘要】 本文根据1992年SEMI国际会议和在旧金山举行的国际半导体设备和材料展览会上了解的情况,对目前硅片、多晶硅、SOI和硅片技术标准规范的水平和发展趋势作了介绍.

【关键词】 硅片; 趋势; 规范; 标准;
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1993年06期
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