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n型<100>掺硫GaP单晶研制

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【摘要】 <正> 近年来,国内对发光二极管(LED)的需求量越来越大,并由单一的红、绿色向多色化发展。本文报道了黄、橙、红色LED用n型GaP单晶衬底的生长工艺及产品用作衬底和芯片的使用情况。 (一)单晶制备单晶生长在MSR6R高压单晶炉内进行,石墨电阻加热。99.9999％的高纯镓及高纯磷先期在高压合成炉内制成GaP多晶。更多还原

【关键词】单晶炉； GaP；生长工艺；高纯镓；高纯磷；发光二极管；电阻加热；合成炉；分凝系数；外延生长；

【文献出处】稀有金属 ,Chinese Journal of Rare Metals , 编辑部邮箱 ,1992年06期

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