节点文献
不同基体上化学气相沉积钽
【摘要】 讨论了过程参数对沉积动力学、涂层的过渡层、形貌、结构和晶体生长的影响,并阐述了沉积动力学与涂层形貌、显微结构,性质间的关系。
- 【文献出处】 稀有金属 ,Chinese Journal of Rare Metals , 编辑部邮箱 ,1992年04期
- 【被引频次】5
- 【下载频次】83
中国学术期刊网络出版总库
【摘要】 讨论了过程参数对沉积动力学、涂层的过渡层、形貌、结构和晶体生长的影响,并阐述了沉积动力学与涂层形貌、显微结构,性质间的关系。