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成膜参量对“S”枪溅射制备的YBCO高温超导薄膜性能的影响

EFFECT OF DEPOSITION PARAMETERS ON THE PROPERTY OF YBCO SUPERCONDUCTING THIN FILMS PREPARED BY"S"GUN SPUTTERING

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【作者】 杨宁平； 章壮健； 罗维昂； 孙云龙； 秦关鸿； 承焕生； 沈孝良；

【Author】 Yang Ningping, Zhang Zhuangjian, Luo Weiang, Sun Yuniong, Qin Guanhong (Institute of Modern Physics, Fudan University) Shen Xiaoliang (Center of Analyses and Measurement, Fudan University) Cheng Huansheng (Department of Nuclear Science, Fudan University)

【机构】 复旦大学现代物理研究所； 复旦大学原子核物理系； 复旦大学分析测试中心 上海 200433； 上海 200433； 上海 200433；

【摘要】 利用“S”枪磁控油射源,采用单靶磁控溅射原位退火技术,详细研究了YBCO(YBaCuO的简缩)高温超导薄膜质量与主要工艺参数之间的关系。XRD分析表明,典型条件制备的膜具有C轴择优取向织构,RBS分析表明,此时的膜具有基本上1:2:3的理想组份。

【Abstract】 The correlations between deposition parameters and the quality of YBCO superconducting thin films grown by"S" gun sputtering are studied in detail. The XRD curve suggests c-axis preferential orientation of the films. The RBS curve of a typical film is also given.

【关键词】 YBCO； 高温超导薄膜； 溅射制备； 射源； 磁控溅射； 择优取向； 转变宽度； 工艺参数； 基底温度； 零电阻；
  • 【文献出处】 真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1992年05期
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