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智能化150MHz反射式声学显微镜及其图象处理
【摘要】 本文描述了我们近期研制成功的一台智能化150MHz反射式声显微镜.该机以通用微机为核心,控制整机工作,终端显示图象.该机具有较高的表层和深层分辨能力,已观察出5.1mm深处20μm宽浅槽的形状.它可检测平面、圆柱形零件.该机还具有多项图象处理功能,分析样品参数,具有良好推广应用前景.
- 【文献出处】 应用声学 ,Applied Acoustics , 编辑部邮箱 ,1992年03期
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