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CVD与炭素
【摘要】 <正> 一前言化学气相沉积(CVD)是一种较古老的技术,很早以前,人们就利用CVD技术生产碳黑、碳丝等物质。随着科学技术的进步,CVD本身也得到很大的发展,而且有新的改进,如等离子CVD,激光CVD等。这些新型CVD大大降低了沉积温度,使得CVD技术在材料科学各领域中得到更广泛的应用,同时又发展了性能更优越的新材料品种。在炭素材料领域由于利用CVD技术可使一些传统材料的性能得以改进,如在石墨表面用CVD技术涂覆多种涂层,如PG、SiC
- 【文献出处】 新型碳材料 ,New Carbon Materials , 编辑部邮箱 ,1992年02期
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