节点文献
微孔金属气体过滤膜
【摘要】 本文介绍了一种用于过滤气体的粉末轧制镍微孔金属膜,已成功地用于电子工业高纯气（Ar、H2、O2和N2）的终端过滤,拦截的最小尘埃径为0.1μm。
- 【文献出处】 新技术新工艺 ,New Technology & New Process , 编辑部邮箱 ,1992年01期
- 【下载频次】119
中国学术期刊网络出版总库
【摘要】 本文介绍了一种用于过滤气体的粉末轧制镍微孔金属膜,已成功地用于电子工业高纯气（Ar、H2、O2和N2）的终端过滤,拦截的最小尘埃径为0.1μm。