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用三坐标测量机调整掠入射光栅谱仪

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【作者】 何绍堂； 陈渊； 淳于书泰； 钟先信； 兰红；

【机构】 西南核物理与化学研究所； 重庆大学； 重庆大学 成都610003； 成都610003； 重庆630064； 重庆630064；

【摘要】 用三坐标测量机调整掠入射光栅谱仪是我们在研制掠入射光栅谱仪中采用的新方法．我们用这种方法研制了一台曲率半径为１ｍ的光栅谱仪，在２—３２ｎｍ波段范围内，谱线分辨达０．００５ｎｍ，与通常采用的用光源摄谱调整光栅谱仪的方法相比，节省了人力、物力，缩短了研制周期．

【关键词】 三坐标测量机； 掠入射； 波段范围； 研制周期； 曲率半径； 罗兰圆； 机械安装； 几何位置； 光路设计； 精调；
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