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冷等离子体表面改性设备的研制
【摘要】 本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备,它集辉光放电和电晕放电于一体,可根据研究工作需要,采用不同的放电形式和工作气体,可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发的需要,实验结果表明,该设备结构合理,性能可靠.
【基金】 国家自然科学基金资助项目.
- 【文献出处】 物理 ,Physics , 编辑部邮箱 ,1992年10期
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