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准分子激光近年应用的进展

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【作者】 刘大明； 刘祖黎； 李再光；

【机构】 华中理工大学； 华中理工大学 武汉430074； 武汉430074； 武汉430074；

【摘要】 本文简述了准分子激光的发展历史、原理、现状及展望，介绍了准分子激光在染料激光、光谱学、光刻、薄膜沉积、表面处理、精密机械加工及医学领域的几种主要应用．

【关键词】 准分子激光； 精密机械加工； 薄膜沉积； 激光泵浦； 表面处理； 平均功率； 医学领域； 激光分离同位素； 激光输出； 卤素原子；
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