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弱信号检测技术在电声扫描显微镜研制中的应用

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【机构】中国科学院上海硅酸盐所；中国科学院上海硅酸盐所上海 200050；上海 200050；上海 200050；

【摘要】电声扫描显微镜是近年发展起来的一种新型检测成像工具。由于它的成像原理基于微观热学与弹性变化,因而它具有常规扫描显微镜无法比拟的优点:试样的非破坏性亚表面剖面成像。电声扫描显微镜也是高新技术结合的产物,它的产生也得力于弱信号检测技术的发展。本文简要介绍了电声扫描电镜的工作原理、结构及其应用,侧重介绍了弱信号检测技术在该仪器研制中的应用。更多还原

【关键词】扫描显微镜；弱信号检测；亚表面；锁相放大器；工作原理；压电陶瓷传感器；声信号检测；频率稳定；二次电子像；调制系统；

【文献出处】数据采集与处理 ,Journal of Data Acquisition & Processing , 编辑部邮箱 ,1992年S1期

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