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CO选择性厚膜气敏元件及其特性

Research on Selective Thick Film CO Gas Sensors and Their Characters

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【作者】 卢革宇孙良彦吕德安吴家琨刘正绣韩敬魏秀红邱要武

【Author】 Lu Geyu, Sun Liangyan, Lü Dean, Wu Jiakun Liu Zhengxiu, Han Jing, Wei Xiuhong and Qiu Yaowu (Institute of Electronic Science and Technology, Jilin University, Changchun)

【机构】 吉林大学电子科学与技术研究所吉林大学电子科学与技术研究所 长春长春长春

【摘要】 本文采用丝网印刷技术制作了CO选择性厚膜气敏元件,并对其加热器特性及气敏特性进行了研究。结果表明,元件的电参数具有较好的一致性;在低温下对CO具有较高的灵敏度和选择性。加热器在CO的工作温度下具有一定的稳定性。

【Abstract】 Selective thick film CO gas sensors were made. The characters of gas sensitivity and thick film heater were investigated. A better identity of the sensors was obtained by controlling suitable conditions. At low temperatures, high sensitivity and selectivity were obtained by adding proper dopants. The thick film heater has a better stability by using a protecting layer.

【关键词】 气敏元件厚膜一氧化碳
【Key words】 gas sensorthick filmcarbon oxide
  • 【文献出处】 吉林大学自然科学学报 ,Journal of Jilin University , 编辑部邮箱 ,1992年02期
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