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用PCVD制备的SnO2导电薄膜及其对NOX的气敏特性

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【作者】 陈俊芳； 刘祖黎； 朱大奇； 姚凯伦；

【机构】 华中理工大学物理系； 中国高等科学技术中心(世界实验室) 武汉430074； 武汉430074； 北京100080；

【摘要】 本文利用PCVD方法制得了SnO2导电薄膜,分析了其电学性能与沉积参数的关系,同时测得该膜具有负温阻特性,这种薄膜是n型半导体膜。在不同温度和不同NOx气体浓度下,对该膜进行了NOx气敏特性的测试。发现在常温下,SnO2薄膜对NOx,具有较高的灵敏度,响应时间快的特性。

【关键词】 PCVD； 导电薄膜； 气敏特性； NO_X； SnO2； 导体膜； 沉积参数； 半导体薄膜； 沉积温度； 基片温度；
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 化学传感器 ,Chemical Sensors , 编辑部邮箱 ,1992年03期
  • 【被引频次】6
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