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NEC及其Pelletron技术的最新发展

Recent development on pelletron systems at NEC

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【作者】 严声清

【Author】 Yan Shengqing(Peking University, Beijing 100871)

【机构】 北京大学 北京 100871

【摘要】 本文简要叙述NEC公司的成长和发展,以及NEC加速器技术的最新进展。内容包括:强流型串列静电加速器:应用于各种研究工作和半导体生产工艺的小型串列加速器:加速管的改进.高压稳定系统的改进;卧式串列加速器8UDH和电子冷却等技术。

【Abstract】 Some of the most recent developments at NEC are presented. They are: the high current pelletron systems; a variety of small machines for different special purpose; some of the improvements on the accelerating tube and the terminal potential stabilizer; the large horizontal pelletron 8UDH; the electron cooling technique.

【关键词】 静电加速器串列加速器
【Key words】 Pelletron Tandem accelerator
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