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4117型串列加速器的运行和改进

The operation and improvement of tandetron 4117

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【作者】 王文勋； 敫桂跃； 王广甫； 董平；

【Author】 Wang Wenxun Jiao Guiyue Wang Guangpu Dong Ping(Beijing Normal University, Beijing 100088)

【机构】 北京师范大学； 北京师范大学 北京 100088； 北京 100088； 北京 100088；

【摘要】 本文介绍了4117型串列加速器运行和改进。其中包括860型离子源电离器实验情况和从1988年以来高能离子注入实验情况。

【Abstract】 This article introduces the operation and improvement of model 4117 tandetron, including the home-made ionizer for model 860 ion source and the work of high energy implantation since 1988.

【关键词】 4117型串列加速器； 离子源； 高能离子注入；
【Key words】 Model 4117 tandem Ion source High energy ion implantation；
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