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离子束刻蚀软X射线透射光栅实验研究

Investigation of soft X-ray transmission grating made by ion beam etching technique

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【作者】 傅绍军洪义麟陶晓明苏永刚唐永建郑志坚唐道源

【Author】 Pu SHAOJUN HONG YILIN TAO XIAOMING Su YONGGANG (National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of Chain, Hefei 230096)TANG YONGJIAN ZHENG ZHUIAN TANG DAOYUAN (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, China Academy of Engineering Physics, Chengdu 610003)

【机构】 中国科技大学国家同步辐射实验室中国工程物理研究院核物理与化学研究所中国工程物理研究院核物理与化学研究所 合肥230026合肥230026成都610003成都610003

【摘要】 利用全息-离子束刻蚀方法研制出了聚酰亚胺薄膜为衬底的金软X射线透射光栅.研究了光栅制作中曝光量、显影条件和离子束刻蚀工艺等因素对光栅参数的影响,并给出了在惯性约束激光核聚变实验研究中的应用结果,

【Abstract】 Soft X-ray gold transmission grating with polyimide membrance substrate is fabricated by holograph-ion beam etching technique. The exposure, development and etch conditions for fabricating grating are investigated and its experimental results used in inertial confinement fusion are given in this paper.

  • 【文献出处】 光学学报 ,Acta Optica Sinica , 编辑部邮箱 ,1992年09期
  • 【被引频次】8
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