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准分子激光微细加工技术的最新进展
【摘要】 <正>准分子微细加工技术是80年代发展起来的新兴技术。由于技术自身的强大生命力,加之VLSI(超大规模集成电路)和OEIC(光电集成电路)的迫切需要,特别是世界各国政府和有关学者的高度重视,这一技术近年来得到长足进展,其中有些已达到实用化程度,如准分子激光曝光机和激光CVD、掺杂、刻蚀复合加工机均已投放市场。为发展这一新兴技术,日本通产省制定了1986～1993年"超先端加工系统"8
- 【文献出处】 高技术通讯 ,High Technology Letters , 编辑部邮箱 ,1992年04期
- 【分类号】TN249
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