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不同的衬底温度下GdBa₂Cu₃O₇超导薄膜在（100）SrTiO₃单晶衬底上的生长

GROWTH OF GdBa₂Cu₃O₇ SUPERCONDUCTING THIN FILMS ON （100） SrTiO₃ SINGLE CRYSTAL SUBSTRATES UNDER VARIOUS SUBSTRATE TEMPERATURE

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【Author】 Yi Huanren Wang Ruilan Li Jingwei Li Hongcheng Wang Changan Shi Lei Zhao Zhongxian Li LinInstitute of Physics, Academia Sinica, Beijing 100080; National Laboratory for Superconduc-ivity, Beijing 100080; Structure Analysis Lab., University of Science and Technology of China, Hefei 230026

【机构】中国科学院物理研究所；中国科技大学结构分析开放实验室；中国科学院物理研究所北京； 100080国家超导实验室；北京； 100080中国科技大学结构分析开放实验室；合肥； 230026； 100080； 100080；

【摘要】 <正> 影响 Y 系高温超导薄膜制备工艺的因素很多,其中衬底温度被认为是最关键的因素之一.本文工作利用直流磁控溅射快速原位处理的方法,在600—850℃ 的衬底温度范围内,在（100）SrTiO₃单晶衬底上制备了一系列的 GdBa₂Cu₃O₇超导薄膜样品,并对这些样品的超导电性和结构进行了分析.发现,在衬底温度低至670℃ 时,也能得到零电阻转变温度 T_c0>88K 的样品.更多还原

【Abstract】 The substrate temperature (Ts) is considered to be one of the most important parameters determining the growth and the properties of the thin films of Y system high temperature superconductors. In this work, a series of GdBa2Cu3O7 superconducting thin films were grown on (100) SrTiO3 substrates under Ts from 600-800℃, by using dc magnetron sputtering and rapid annealing method in situ. The results show when Ts = 670℃, the thin films with Tco> 88K can be obtained.更多还原