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超纯气体中微量氧的连续在线分析仪
【摘要】 DL—401微量氧分析仪吸收了国内外测氧仪的优点,对传统的测氧仪作了重要改进,解决了材料及部件的渗漏问题,实现了超纯气体中微量氧的连续在线检测。
- 【文献出处】 低温与特气 ,Low Temperature and Specialty Gases , 编辑部邮箱 ,1992年02期
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【摘要】 DL—401微量氧分析仪吸收了国内外测氧仪的优点,对传统的测氧仪作了重要改进,解决了材料及部件的渗漏问题,实现了超纯气体中微量氧的连续在线检测。