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电子声学显微镜中的斩束研究
ON CHOPPING ELECTRON BEAM IN THE SEAM
【摘要】 根据扫描电子声学显微镜的要求,利用物镜光阑在第一透镜的上方形成的虚像作为斩束孔,分析了由三个透镜组成的电镜中电子束的斩束系统,给出了斩束光路设计和测试结果。
【Abstract】 According to requirements of the scanning electron-acoustic microscopy (SEAM), using a virtual image for med final lens aperture above the first lens for a beam-chopping aperture, the beam-chopping electrode stractures are analysed in the SEAM, which is consist of three lenses. The beam-chopping optisal design and cxperimental results are given.
【关键词】 电声显微镜；
斩束技术；
光路设计；
频率合成；
【Key words】 electron-acoustic microscopy； beam-chopping technique； optical design； frequency synthesis；
【Key words】 electron-acoustic microscopy； beam-chopping technique； optical design； frequency synthesis；
- 【文献出处】 电子科技大学学报 ,Journal of University of Electronic Science and Technology of China , 编辑部邮箱 ,1992年03期
- 【分类号】TH742.9;TN16
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