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亚毫米多晶硅微齿轮的初步研制

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【作者】 苏毅； 赵新安； 谭淞生； 王渭源；

【机构】 中科院上海冶金所； 中科院上海冶金所；

【摘要】 <正>自1989年美国加里弗尼亚大学报导采用IC技术首次成功地制作了微型静电电动机(转子直径为60μm和120μm)之后,以硅材料为主的微机械加工技术得到了世界各国科学家的高度重视和大力发展.微齿轮是微电动机的主要构件,通过它的研制,可以全面了解和

【关键词】 静电电动机； 亚毫米； 微机械加工技术； 转子直径； 主要构件； 加里； 弗尼； 机械加工； 微执行器； 掩模；
  • 【文献出处】 传感技术学报 ,Journal of Transcluction Technology , 编辑部邮箱 ,1992年03期
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