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半导体智能传感器的研制动态及技术课题

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【作者】 张盛东； 吕世骥；

【机构】 东南大学微电子中心； 东南大学微电子中心；

【摘要】 <正>智能传感器的开发、使用已为人们所关注,20多年来,国内外有很多报导.本文就此对其概念、研制动态和需要解决的技术课题等作一综合性介绍,供同仁参考.1 智能传感器的一般概念和基本特征智能传感器(系统)至今尚无确切含义,在美国俗称Smert Sensor.这种传感器常以电路

【关键词】 智能传感器； 传感器材料； 信号处理电路； 物理量传感器； 化学量传感器； 加速度传感器； 传感系统； 温度补偿； 智能化传感器； 输出特性；
  • 【文献出处】 传感技术学报 ,Journal of Transcluction Technology , 编辑部邮箱 ,1992年02期
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