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离子镀膜用长寿命阴极电子枪

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【作者】 张世良； 胡永年；

【机构】 兰州物理研究所； 兰州物理研究所；

【摘要】 以硼化物为热电子发射体.在热阴极自持弧光放电状态工作的低电压大电流空心明极电子枪,在离子镀膜设备中用以熔化蒸发并电离膜材料。着重简述枪工作原理,对枪结构主要尺寸,气、电工作参数进行了设计.估算了枪效率。枪的结构简单,放电功率5～8kW.工作350h 后性能稳定。

【关键词】 离子镀膜； 阴极； 电子枪；
  • 【文献出处】 真空与低温 ,Vacuum and Cryogenics , 编辑部邮箱 ,1991年03期
  • 【被引频次】2
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