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GaAs超薄层腐蚀与非线性光学器件制作

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【作者】 朴友植； 孙智江； 杜淑琴； 张月清；

【机构】 中国科学院长春物理研究所； 中国科学院长春物理研究所；

【摘要】 用液相外延生长与H2O2选择腐蚀制备了GaAs—GaAlAs非线性光学器件。研究了H2SO4:H2O2:H2O腐蚀液的快速腐蚀和H2O2—NH3·H2O的GaAs选择腐蚀过程。适宜pH值的H2O2腐蚀液对GaAs具有～1μm/小时的腐蚀速度,而对Ga1-xAlxAs（x≥0.25）不产生腐蚀。分析和讨论了腐蚀过程和速择腐蚀机理。

【关键词】 非线性光学器件； 光学非线性； 超薄层； 液相外延生长； 腐蚀过程； 腐蚀速度； 腐蚀液； 表面形貌； 腐蚀机理； 半导体激光器；
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