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高频离子源中应用等离子体化学反应引出金属离子过程中一个基本规律的研究

ON A BASIC PRINCIPLE IN THE PROCESS EXTRACTING METAL IONS BY PLASMA CHEMICAL REACTION IN HF ION SOURCE

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【作者】 白桂彬; 施修龄; 孟昭兴;

【Author】 Bai Quibin Shi Xiuling Meng Zhaoxing (Beijing Normal Univ.)

【机构】 北京师范大学低能核物理研究所; 北京师范大学化学系 100875; 100875;

【摘要】 高频离子源中应用等离子体化学反应引出金属离子的过程中,总结出了一个基本规律——“氧化——还原——氧化”,“”—”—””,“”—”—””,……。利用此规律,解决了一批金属离子的引出问题。已引出的离子有:Re~+、W~+、Mo~+、Ta~+、Pt~+、Pd~+、Au~+、Ag~+、Nb~+、Ti~+、V~+、Cr~+、Ni~+、Fe~+、Cu~+、Zn~+、Ga~+、Ge~+、Se~+、Si~+、Al~+、Mg~+、Be~+、Li~+、Bi~+、In~+、Sn~+、Pb~+、Cd~+等和稀土离子Y~+、Nd~+、Ce~+、Sm~+、Tm~+、Dy~+、Gd~+、Er~+等。

【Abstract】 A basic Principle in the process extracting metal ions by plasma chemical reaction in HF ion source is summarized: "Oxidation-Reduction-Oxidation",“”-”-””,“”-”-””, .......Following the principle several metal ionsextaction could be realized.The ions extracted are Re+, W+, Mo+, Ta+, Pt+, Pd+, Au+, Ag+. Nb+. Ti+, V+, Cr+, Ni+, Fe+, Cu+, Zn+, Ga+, Ge+, Se+, Si+, Al+, Mg+, Be+, Li+, Bi+, In+, Sn+, Pb+, Cd+ etc.and rare earths ions Y+, Nd+, Ce+, Sm+, Tm+, Dy+, Gd+, Er+ etc.

【基金】 国家自然科学基金支持
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1991年01期
  • 【被引频次】1
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