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He离子注入非晶Fe40Ni38Mo4B18合金的CEMS研究

GEMS INVERSTIGATION ON AMORPHOUS ALLOY Fe40Ni38Mo4 B18 IMPLANTED WITH HELIUM IONS

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【作者】 唐景庭

【Author】 Tang Jingting (Changsha Research Institute of Equipment for Semiconductor Technologies)

【机构】 长沙半导体工艺设备研究所 410111

【摘要】 对非晶态合金Fe40Ni38Mo4B18在室温下注入了120keV 2.0×1018、2.5×1018、3.0×1018/cm2三种剂量的4He+离子,借助内转换电子穆斯堡尔谱(CEMS)分析方法研究了注入非晶态合金的微观结构变化。结果表明:在注入近表面层,样品密度随剂量而增加;表面受到横向张应力的作用。分析认为,这是由于在注入层产生了He与类空位的复合体气泡结构所致。

【Abstract】 CEMS was applied to study microstructure changes in amorphous alloy Fe4o Ni38Mo4B18 implanted with Helium ions to the total dose of 2.0 × 1018/cm2, 2.5×1018/cm2, 3.0×1018/cm2 at 120 keV energy and room temperature.The results are as follows, the density of the specimen near implanted surface layer increases with dose, horizontal stress takes effect on surface layer.The gas bubbles of the He and vacant - like complex structure formed inl implanted surface can be used to explain these changes.

  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1991年01期
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