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Fe离子注入多晶Al2O3的光电子能谱研究

X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY STUDY OF Fe ION IMPLANTED POLYCRYSTALLINE Al2O3

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【作者】 李世普； 樊东辉； 王国梅； 邢宁； 任卫；

【Author】 LI SHI-PU FAN DONG-HUI WANG GUO-MEI XING NING REN WEIDepartment of Materials Engineering, Wuhan University of Technology, Wuhan, 430070

【机构】 武汉工业大学材料工程系； 武汉工业大学材料工程系 武汉； 430070； 武汉； 430070；

【摘要】 本文应用光电子能谱（XPS）方法分析Fe离子注入多晶Al2O3样品中各离子的存在状态。通过微机对谱峰进行高斯拟合处理,得出注入离子Fe不同价态的相对含量。

【Abstract】 In this paper, all ionic states in the polycrystalline Al2O3 implanted with Fe ions are studied by X-ray photoelectron spectroscopy. The Gaussian decomposition of spectra is done by computer, and the relative content of various valence of implanted Fe ion is obtained.

【关键词】 光电子能谱； Al2O3； Fe离子； 离子注入； 电子结合能； 拟合处理； 表面导电性； 谱峰； 空位团； 耐蚀性；
【基金】 中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室资助的课题
  • 【文献出处】 物理学报 ,Acta Physica Sinica , 编辑部邮箱 ,1991年06期
  • 【被引频次】2
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