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金刚石薄膜与基底附着力的研究

Study on Adhesion between Diamond Film and Substrates

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【Author】 Pu Xin Fang Peichun Hou Li Qi Lichang Xuan Zhenwu Liu Erkai(Research Institute of Synthetic Crystals, Beijing, 100018)

【机构】人工晶体研究所；人工晶体研究所北京； 100018；北京； 100018；

【摘要】 <正> 薄膜与基底间附着力的好坏,直接反映薄膜与基底间结合力的强弱,这在实际应用中意义重大。本文简述了各种薄膜与基底间附着力测试方法的优缺点,通过对比分析,选出适于测试及检验金刚石薄膜附着力的可靠方法,并用此方法检验在不同基底上的金刚石薄膜附着力的强弱。研究发现,金刚石薄膜附着力的好坏与基底材料表面状态密切相关,运用适当方更多还原

【关键词】金刚石薄膜；表面状态；测试方法；金刚石膜；对比分析；切削性能；

【文献出处】人工晶体学报 ,Journal of Synthetic Crystals , 编辑部邮箱 ,1991年Z1期

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