节点文献

在金刚石及相关材料上汽相沉积金刚石的研究

Study of Growth Diamond by EACVD on Diamond and Relative Materials

推荐 CAJ下载
PDF下载
不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【Author】 Xuan Zhenwu Yang Peichung Qi Lichang Hou Li Liu Erkai Pu Xin(Research Institute of Synthetic Crystal, Beijing, 100018)

【机构】人工晶体研究所；人工晶体研究所北京； 100018；北京； 100018；

【摘要】 <正> 目前以非金刚石为衬底汽相沉积金刚石,通常得到的大都是多晶结构;而以金刚石单晶为衬底,在一定条件下得到的金刚石薄膜可以是单晶外延膜,并可观察到许多反映生长历史的形貌,如(100)面、(111)面上的生长台阶等。以金刚石陶瓷为衬底沉积金刚石,可观察到原来表面上变得平整,原来不完整的金刚石更多还原

【关键词】金刚石单晶；生长台阶；多晶结构；汽相；外延膜；金刚石膜；膜体；多晶膜；表面形貌；生长特征；

【文献出处】人工晶体学报 ,Journal of Synthetic Crystals , 编辑部邮箱 ,1991年Z1期

【下载频次】26

知网节下载

节点文献中：

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络

节点文献