节点文献

直流热等离子体低压高速率合成金刚石薄膜

推荐 CAJ下载
PDF下载
不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【机构】兰州大学物理系；兰州大学物理系兰州·730000；兰州·730000；兰州·730000；

【摘要】 <正> 近年来,低压化学气相合成的金刚石薄膜,由于其独特的光学、电学和力学性质和在高技术及其他工业技术领域中的广泛应用前景,因而引起了国内外科学工作者的极大兴趣。目前已发展了各种方法来制备金刚石薄膜。主要的方法有热灯丝化学气相沉积法、微波等离子体法、射频等离子体法、电子辅助化学气相沉积法、和直流热等离更多还原

【关键词】金刚石薄膜；热等离子体；化学气相沉积；等离子体法；微波等离子体；国内外科学；工业技术；力学性质；金刚石膜；氮化硼；

【文献出处】兰州大学学报 ,Journal of Lanzhou University , 编辑部邮箱 ,1991年02期

【下载频次】33

知网节下载

节点文献中：

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络

节点文献