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用激光干涉法诊断准分子激光在YBa2Cu3O7-δ靶表面激励的等离子体电子密度

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【作者】 焦树良； 刘大明； 李再光；

【机构】 华中理工大学激光国家实验室； 华中理工大学激光国家实验室 430074； 430074； 430074；

【摘要】 <正> 目前氧化物高温超导薄膜的制备已有多种方法,其中准分子激光溅射法是最有前途的方法之一。准分子激光溅射法制备高温超导膜的最大特点就是其保成份性和高效率。由于其保成份性使得制备厚位超导膜成为现

【关键词】 准分子激光； YBa2Cu3O； 等离子体电子； 超导膜； 溅射法； 高温超导薄膜； 激光干涉法； 等离子束； 靶面； 固体靶；
  • 【文献出处】 量子电子学 ,Chinese Journal of Quantum Electronics , 编辑部邮箱 ,1991年01期
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