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双光路CCD尺寸检测系统采用远心光路的试验分析

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【作者】 刘宏波； 白闻喜；

【机构】 长春光机所； 长春光机学院 130022； 130022；

【摘要】 <正> 本文从以下几个方面讨论了一种新型的双光路CCD工件外径尺寸检测系统。

【关键词】 远心光路； CCD； 尺寸检测； 检测系统； 外径尺寸； 试验分析； 光学系统； 成象系统； 检测装置； 离焦；
  • 【文献出处】 量子电子学 ,Chinese Journal of Quantum Electronics , 编辑部邮箱 ,1991年01期
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