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气相氟化氢与二氧化硅反应的研究

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【作者】 洪啸吟； 李钟哲； 郭永宁； 董桂荣；

【机构】 清华大学化学系； 北京市化工研究院； 北京市化工研究院 北京 100084； 北京 100084； 北京 100013； 北京 100013；

【摘要】 <正> 氢氟酸（HF的水济液）和SiO2的反应是一个非常重要的反应,它很容易进行,其结果是生成SiF4和H2O.但我们和其他人先后发现在高于100℃时气相HF（包括无水HF和氢氟酸蒸气）和SiO2无明显反应发

【关键词】 聚合物膜； 玻璃化温度； 表面吸附； 反应机理； 逃逸速度； 高温烘烤； 上巳； 光敏聚合物； 交联聚合物； 反应气体；
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 科学通报 ,Chinese Science Bulletin , 编辑部邮箱 ,1991年06期
  • 【被引频次】3
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