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微位移测量中三角测量法的误差分析

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【作者】 徐育； 金泰义； 李胜利；

【机构】 中国科学技术大学； 中国科学技术大学；

【摘要】 本文通过对微位移测量中三角测量法原理的推导,分析了这种测量法的主要误差来源及减小误差的途径。

【关键词】 三角测量法； 位移测量； 误差分析； 微位移； 非线性误差； 接收面； 主光线； 倾斜入射； 光电器件； 系统精度；
  • 【文献出处】 计量技术 ,Measurement Technique , 编辑部邮箱 ,1991年07期
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