棱体工作面平面度及其检测——介绍卧式激光平面度干涉仪

【摘要】 <正> 正多面棱体(以下简称棱体)是目前测量圆分度误差的常用标准计最器具之一。它以严格的几何形状误差(如工作面平面度、工作面对定位面的垂直度、工作面的表面粗糙度及工作角偏差等)保证其准确分度。通常使用中工作角偏差可按检定结果予以修正。因此,其它各项就成为影响分度精度的因素,而其中工作面平面度尤为突出。测量棱体工作角时,以自准直仪照准各工更多还原