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金刚石薄膜和类金刚石薄膜
Diamond Thin Films and Diamond-like Carbon Coatings
【摘要】 本文介绍了金刚石薄膜和类金刚石薄膜的制备与薄膜性能分析方法,也介绍了它们的应用前景。本文给出了华北光电所研究类金刚石薄膜的结果。
【Abstract】 In this article techniques for depositing and evaluating diamond films and diamond-like carbon coatings is demonstrated. We gave the result of the diamond-like films research in the North China Research Institute of Electro-optics.
【关键词】 金刚石薄膜；
类金刚石薄膜；
薄膜制备；
【Key words】 diamond thin films； diamond-like carbon； coatings； preparation of thin films；
【Key words】 diamond thin films； diamond-like carbon； coatings； preparation of thin films；
- 【文献出处】 激光与红外 ,Laser & Infrared , 编辑部邮箱 ,1991年05期
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