溶胶-凝胶技术制备(Pb,La)TiO_3薄膜的实验研究-中国学术期刊网络出版总库

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溶胶-凝胶技术制备(Pb,La)TiO_3薄膜的实验研究

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【英文篇名】	Experimental Investigation on the Preparation of (Pb,La)TiO_3 Thin Films with SOL-GEL Processing
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【作者】	刘梅冬; 王培英; 吴国安; 陈志雄;
【英文作者】	Liu Meidong Wang Peiying Wu Guoan Cheng Zhixiong;
【作者单位】	华中理工大学固体电子学系; 广州师范学院;
【文献出处】	华中理工大学学报 , , 编辑部邮箱 1991年 01期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】	溶胶; 凝胶; 薄膜; 择优取向;
【英文关键词】	SOL; GEL; Film; Preferred orientation;
【摘要】	本文研究了溶胶-凝胶技术中溶液浓度、PH值、匀胶转速和热处理条件对PLT薄膜性能的影响规律.用该技术在SrTiO_3和MgO单晶基片上制备了具有钙钛矿型结构的择优取向PLT薄膜.在硅单晶和石英玻璃基片上制备了钙钛矿型结构的PLT陶瓷薄膜.
【英文摘要】	The influence of solution concentration, pH value, spin speed and heat treatment on PLT thin film preparation with sol-gel processing is studied. Using such processing, highly oriented PLT thin films with perovskite type structure on SrTiO3 and MgO single crystal substrate, (100) PLT28// (100)SrTiO3 and (100) PLT28//(100) MgO, and PLT ceramic thin films with perovskite type structure on Si single crystal and quartz glass substrate have been prepared. The dielectric constant at room temperature and the break...
【正文快照】	1 弓言随着科学技术的发展,薄膜技术在光学、光谱学、半导体技术和空间技术中得到了广泛应用.80年代以来人们用射频磁控溅射和多靶溅射方法,制备了PLT薄膜材料.并利用PLT的优良性能研制成了高速、低驱动电压的光集成电路用光开关“’,高灵敏度的单.元和多元热释电红外探测器‘

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