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热壁外延ZnSe单晶薄膜

HWE GROWN ZnSe SINGLE CRYSTAL FILM~*

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【Author】 YANG YUKUN, WU LIANMIN, MENG QINGJU, WANG HAIFENG, YANG HUI, SUN MINGYAN(The Analytical Testing and Experimental center, Jilin University, Changchun, Jilin 130023, China)

【机构】吉林大学分析测试实验中心；吉林大学分析测试实验中心吉林；长春 130023；吉林；长春 130023；

【摘要】介绍了一种结构更加简单的热壁外延装置,以及用该装置在GaAs(100)面上生长ZnSe单晶外延层的工艺。扫描电镜和X射线衍射分析表明用该装置生长的ZnSe单晶外延层是比较理想的。更多还原

【Abstract】 A simple HWE apparatus and the technology of using this appparatus to grown ZnSe single crystal epilayers on GaAs [100] plane are reported. The analysis of scanning electron microscope and X-ray diffraction shows that the epilayer of ZnSe single crystal is perfect.更多还原

【关键词】热壁外延；硒化锌(ZnSe)；外延层.；
【Key words】 hot wall epitaxy (HWE)； zinc selenide (ZnSe)； epitaxial layers.；

【基金】国家高技术计划新概念新构思探索研究资助项目

【文献出处】红外与毫米波学报 ,Journal Infrared Millimeter and Waves , 编辑部邮箱 ,1991年01期

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