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化学量传感器

Chemical Sensors

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【作者】 武世春； 虞惇； 王贵华；

【Author】 Wu Shixiang,Yu Dun,Wang Guihua (Harbin Institute of Technology)

【机构】 哈尔滨工业大学； 哈尔滨工业大学；

【摘要】 <正> pH-ISFET的特性参数可分为电学和电化学特性参数两大类。 一、电学特性及参数 ISFET虽有其特殊性,但仍然是场效应晶体管,与MOSFET所不同的只是它没有金属栅,其被测液代替了MOSFET的金属栅。凡需施加栅压的测试,必须采用参比电极经溶液给栅介质和半导体的表面施加电场。除此之外,从场效应原理上讲并无本质的差别,因此有关MOSFET特性参数的概念均可予以借鉴。

【关键词】 化学量传感器； 场效应晶体管； 金属栅； 场效应管； 栅介质； 输出特性曲线； 电学性能； 栅压； 参比电极； 温度系数；
  • 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,1991年01期
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