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用于半导体器件数值模拟的网格自洽剖分方法

An Adaptive Meshing Method for Numerical Modelling of Semiconductor Devices

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【作者】 何野； 樊继山； 曹国祥；

【Author】 He Yie/Microelectronics Center, Southeast University NanjingFan Jishan/Mathematics and Mechanics Department, Southeast University, NanjingCao Guoxiang/Mathematics and Mechanics Department, Southeast University, Nanjing

【机构】 东南大学微电子中心； 东南大学数学力学系； 东南大学数学力学系 南京210018； 南京210018； 南京210018；

【摘要】 考虑三角形网格与四边形网格各自的优点.本文提出了一种适用于各种半导体器件数值模拟的网格自治剖分方法,一个pn结器件的网格剖分实例证明了该方法的适用性.

【Abstract】 Considering the advantages of triangular,grid and quadrilateral grid, an adaptivemeshing method for numerical modelling of various kinds of semiconductor deviceis suggested.The validity of the approach is illustrated by a meshing example of apn junction device.

【关键词】 剖分方法； 网格剖分； 半导体器件； 三角形网格； 四边形网格； 数值模拟； 三角网格； 初始网格； 自洽； 误差估计；
  • 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,1991年06期
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