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软动作快门设计与应用

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【作者】 刘双； 杨中兴； 黄绮； 周均铭；

【机构】 中国科学院物理所 北京 100080；

【摘要】 本文介绍了电机拖动,光电控制的软动作快门的设计及使用的基本情况。该装置挡板位移55mm所用时间仪为0.1s,经过一万次左右的开关试验,其性能稳定,实现了无撞击运动。该装置有助于提高外延材料的界面质量,而且更加适应MEE的生长模式。

【关键词】 分子束外延； 设备改装；
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