【作者】 谢琪； 刘世闯； 雷震霖； 张利强； 余文斌； 乔金梁； 孔梅影； 孙殿照； 韩汝水； 朱世莱； 阎春辉；
【机构】 中国科学院沈阳科仪厂； 中国科学院半导体所； 中国科学院半导体所 沈阳 110003； 北京 100084；
【摘要】 本文报道了金属有机源分子束外廷设备的设计方案和技术特点。该设备最大样品尺寸为3英寸,3室结构,空气闭锁换样,6条气路,外廷生长工艺过程计算机控制更多还原
