【作者】 孙殿照； 孔梅影； 韩汝水； 朱世荣； 阎春辉； 国红熙； 付首清； 周增圻； 张晓秋； 黄运衡； 谢琪； 刘世闯； 雷震林； 张利强； 余文斌； 乔金梁；
【机构】 中国科学院半导体所； 中国科学院半导体所中国科学院半导体材料科学开放实验室； 中国科学院沈阳科仪厂； 中国科学院沈阳科仪厂 北京 100083 中国科学院半导体材料科学开放实验室； 北京 100083； 沈阳 110003；
【摘要】 研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。更多还原
