具有内部温度补偿的多结构外延片的研制

【摘要】 <正> 目前国内生产的低温度系数稳压二极管多为平面型,即采用平面工艺在同一硅片上制作多个p-n结以实现电压温度系数补偿,这种结构的特点是硅材料消耗少、效率高,利于批量生产。但由于在同样面积芯片下,各元件有效面积小,限制了器件功率,同时元件间以铝条更多还原