节点文献
类金刚石碳膜作为红外元件减反射膜的研究
Study on Diamond--like Carhon Film for Antireflection Coating of Infrared Devices
【摘要】 本文以甲苯为工作气体,先用高频辉光放电等离子体CVD方法制备出类金刚石碳膜,研究了它的光吸收和红外增透性,以及在Si、Ge等红外元件上作为减反射膜的应用。
【Abstract】 Diamond-like Carbon films have been formed from C7H8 gas by rfPCVD. The optical properties of diamond-like carbon films are investigaed. The experiment results show that diamond-like carbon films are suitable for antireflec- tion coatings of infrared devices.
【关键词】 高频辉光放电等离子体CVD；
类金刚石碳股；
减反射膜；
【Key words】 rfPCVD； Diamond-like Carbon Film； Antireflection Coating；
【Key words】 rfPCVD； Diamond-like Carbon Film； Antireflection Coating；
【基金】 机电部机械工业技术发展基金,编号:86J7720
- 【文献出处】 半导体光电 ,Semiconductor Optoelectronics , 编辑部邮箱 ,1991年02期
- 【下载频次】42