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熔丝型双极2kPROM的研制

Development of Bipolar 2k Fuse PROM

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【作者】 周志仁； 邹务金； 沈文正；

【Author】 Zhou Zhi-ren (Hunan University)Zou Wu-jin Shen Wen-cheng (Li-Shan Microelectronics Inst.)

【机构】 湖南大学物理系； 骊山微电子学研究所； 骊山微电子学研究所 长沙； 陕西临潼； 陕西临潼；

【摘要】 本文报道了将NiCr熔丝工艺与标准STTL工艺结合,成功地研制出熔丝型双极大规模2kPROM集成电路LT3471.

【Abstract】 Nicr fuse technology and standard STTLtechnology is combinated to make a stablebipolar PROM technology.A large scale bipolar2k PROM is successfully developed by use ofthis technology.

【关键词】 NiCr熔丝； STTL工艺； PROM；
【Key words】 Nicr Fuse； PROM； STTL Technology；
  • 【文献出处】 微电子学与计算机 ,Microelectronics & Computer , 编辑部邮箱 ,1990年05期
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