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硅表面缺陷对金刚石成核结膜的重要作用

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【作者】 李胜华； 张志明； 张冬喜； 竺品芳； 丁正明；

【机构】 上海交通大学； 上海交通大学；

【摘要】 本文采用研磨、超声波和化学方法处理单晶硅基片,观察了缺陷形成的形态,进行低压法合成金刚石多晶薄膜的实验研究,初步讨论了缺陷在金刚石成核结膜中的重要作用。

【关键词】 金刚石多晶薄膜； 硅基片； 硅表面； 低压法； 高温高压法； 金刚石颗粒； 天然金刚石； 超声波处理； 晶形； 人造金刚石；
【基金】 国家高科技和上海市自然科学基金
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1990年Z1期
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