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等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜

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【作者】 周坤粦； 曹伟民； 张吉人；

【机构】 中国科学院成都有机化学研究所； 中国科学院成都有机化学研究所；

【摘要】 本文介绍了等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜的制备、性质和结构。以及在晶体管芯柱中的应用结果、解释了绝缘钝化机理．

【关键词】 气相沉积； 钝化膜； 薄膜制备技术； 芯柱； 沉积膜； 绝缘电阻值； 硅膜； 反应气体； 水接触角； 表面电阻；
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