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氢离子敏场效应晶体管温度特性的实验研究

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【作者】 李和太； 崔志武； 于立新； 刘洪；

【机构】 沈阳工业大学； 沈阳工业大学；

【摘要】 <正> 引言氢离子敏场效应晶体管（HISFET）是一种被用来测量溶液中氢离子浓度（pH 值）的新型半导体化学传感元件。它的结构与普通绝缘栅场效应晶体管类似。栅绝缘膜为二氧化硅（SiO2）和氮化硅（Si3N4）双层结构,无金属栅极。用硅平面工艺制作。与一般半

【关键词】 场效应晶体管； 金属栅极； 子敏； 绝缘栅； 平面工艺； 传感元件； 半导体化学； 绝缘膜； 氮化硅膜； 氢离子浓度；
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